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日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1337次

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 一、產品簡介

        CFB-N系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒，軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境，廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

 

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 二、產品特點

        

  • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1600N

進氣口法蘭

—

LF250

CF250

排氣口法蘭

—

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

—

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8

電機轉速

rpm

21000

啟動時間

min

＜6

使用場合

—

耐腐蝕

振動值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

15

冷卻水溫度

℃

≤20

泵體烘烤溫度

℃

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<700

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

—

垂直±5°

重量

kg

～39

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB-N系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB-N系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

CFB-N系列耐腐蝕復合分子泵安裝尺寸表

型號規格

CFB-1600N

高真空法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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